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D. Feiertag:
"Anwendung von Standard-Scannertechnologie zur spektroskopischen Charakterisierung von metallischen und dielektrischen dünnen Schichten";
Betreuer/in(nen): C. Eisenmenger-Sittner; Institut für Festkörperphysik, 2011; Abschlussprüfung: 30.11.2011.

Kurzfassung:

In vielen technischen Prozessen spielen Schichten mit Dicken im Nanometer-Bereich (0,5-100 nm) auf granularen Materialien eine wichtige Rolle bei der Modifikation der physikalischen Eigenschaften der Materialien. Ziel dieser Arbeit bzw. dieses Projektes ist die optische Schichtdickenbestimmung transparenter Schichten auf transparentem Granulat.
Für die optische Schichtdickenbestimmung ist es notwendig, die optischen Konstanten (reeller Brechungsindex n, Extinktionskoeffizient ) des betreffenden Materials zu kennen. Aus diesem Grund wurde eine Methode zur Bestimmung dieser materialabhängigen Größen entwickelt, um diese auch für weniger bekannte Materialen schnell und einfach ermitteln zu können. Diese Methode beinhaltet die Herstellung dünner Schichten mit linearem Schichtdickengradienten auf Glassubstraten und die anschließende Messung der Transmission in Abhängigkeit von der Schichtdicke.
Bei der Bestimmung der Schichtdicken von dünnen Schichten auf transparenten Granulaten (z.B. Diamant) wird versucht für eine statistisch signifikante Anzahl von Granulatteilchen die Transmission zu messen. Aus dem durch Bildbearbeitung und Mustererkennung erhaltenen Histogramm der Transmissionswerte wird versucht auf die mittlere Schichtdicke der Beschichtung auf den Diamanten zurückzuschließen.