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Diplom- und Master-Arbeiten (eigene und betreute):

T. Makarczuk:
"Strukturentwicklung niedrigschmelzender Sputterschichten";
Betreuer/in(nen): C. Eisenmenger-Sittner; Institut für Festkörperphysik, 2011; Abschlussprüfung: 09.03.2011.



Kurzfassung deutsch:
KURZFASSUNG

Ziel der vorliegenden Diplomarbeit ist es, die Strukturentwicklung niedrigschmelzender Sputterschichten für Gleitlager zu analysieren. Dabei variieren Versuchsparameter wie die Substrattemperatur, die Beschichtungsrate und die Zusammensetzung des Restgases, um deren Einfluss auf den Schichtaufbau und dadurch auch die Eigenschaften der Schicht zu erforschen.
Grundlage dieser Versuche bildet einerseits das Thornton Modell aus dem Jahre 1974, ein Strukturzonen- Modell auf Basis von Experimenten mit einer Hohlkathoden- Sputteranordnung. Dieses soll im Rahmen dieser Arbeit für niedrigschmelzende Systeme untersucht und neu erarbeitet werden.
Durch die Variation von Temperatur und Beschichtungsrate wird versucht, das Schichtwachstum positiv zu beeinflussen. Ziel ist es, feinkörnigere duktilere Sputterschichten zu produzieren. In weiterer Folge wird erforscht, inwiefern sich zusätzliche Restgasbestandteile - in diesem Fall Sauerstoff und Kohlendioxid - in geringer Konzentration auf die Morphologie der Schicht auswirken.
Die Oberflächenmorphologie und die Struktur der Schichten werden durch elektronenmikroskopische Untersuchungen und das Rasterkraftmikroskop charakterisiert und ausgewertet. Systematische Untersuchungen über den Einfluss verschiedenster Variationen der Parameter und des Restgases im Arbeitsgas auf Härte, Morphologie und Rauheit von Schichten werden durchgeführt.
Die Diplomarbeit soll eine Vertiefung der Kenntnis von niedrigschmelzenden Systemen sicherstellen und somit als Grundlage für die Verbesserung bzw. Weiterentwicklung der bisher bekannten weichen Legierungen als Laufschicht eines Sputterlagers dienen.

Erstellt aus der Publikationsdatenbank der Technischen Universitšt Wien.